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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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閱讀：105 發(fā)布時(shí)間：2020/09/22
為了獲得大的過程可靠性，在涂覆SU-8 2000抗蝕劑之前，基材應(yīng)清潔干燥。 為了獲得很好的結(jié)果，應(yīng)使用食人魚濕法蝕刻（使用H2SO4和H2O2）清潔基材，然后用去離子水沖洗。
基材也可以使用反應(yīng)離子蝕刻進(jìn)行清潔
（RIE）或任何裝有氧氣的桶式灰燼。 通常不需要粘合促進(jìn)劑。 對于包括電鍍的應(yīng)用，建議使用MCC Primer 80/20（HMDS）對基材進(jìn)行預(yù)處理。
涂層
SU-8 2000抗蝕劑有十二種標(biāo)準(zhǔn)粘度。 本加工指南文件涉及四種產(chǎn)品：SU-8 2025，SU-8 2035，SU-8 2050和SU-82075。圖1。
提供選擇合適的SU-8 2000抗蝕劑和旋轉(zhuǎn)條件以實(shí)現(xiàn)所需膜厚所需的信息。
推薦節(jié)目
1.）為基板直徑的每英寸（25毫米）分配1ml的抗蝕劑。
2.）以100 rpm /秒的加速度在500 rpm下旋轉(zhuǎn)5-10秒。
3.）以300 rpm /秒的速度在2000 rpm下旋轉(zhuǎn)30秒。
